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Optische Vermessung von Oberflächen - Optische Vermessung von mikroskopischen Probenstrukturen

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Ref.-No. 5249

An der Ruhr-Universität Bochum wurde ein Verfahren zur mikroskopischen Vermessung von Oberflächen und verborgenen Probenstrukturen verschiedener Größenordnungen mittels kurzkohärenter Interferometrie vorgestellt.

Keywords: Berührungslose Messung, Mikrometer-Auflösung, Nanometer-Genauigkeit, Vermessung Strukturgrößen, Vermessung verborgener Strukturen, Contact free measurement, micrometer resolution, nanometer precision, structure size, hidden structures

Herkömmliche Verfahren, wie z.B. die digitale holographische Mikroskopie oder die optische Kohärenz-Tomographie, ermöglichen nur eine Vermessung einer Probe in eingeschränkten Größenbereichen.

Die neuartige Technologie erlaubt eine hochauflösende und hochpräzise Vermessung von Oberflächen und verborgenen Probenstrukturen verschiedener Größenordnungen. Somit können Grenz- oder Oberflächen mit einer Genauigkeit von einigen Nanometern und Profilstrukturen im Mikrometerbereich gemessen werden. Die Messmethode erfolgt berührungslos und es können Bildfelder in der Größe von mehreren Quadratzentimetern mit einer Bildwiederholfrequenz von einigen Kilohertz abgetastet werden.

Vorteile

  • Berührungslose und schnelle Messmethode
  • Auflösung im Mikrometerbereich
  • Genauigkeit im Nanometerbereich
  • Gleichzeitige Vermessung von verschiedenen Strukturgrößen
  • Vermessung verborgener Strukturen

Kommerzielle Anwendung

Die Erfindung findet durch die schnelle, hochauflösende und genaue Messmethode u.a. in der Optik, der Messtechnik, der Photonik, der Lastertechnik, der Sensorik und der Halbleitertechnik Verwendung. Mögliche Einsatzgebiete sind u.a. die Vermessung von mikromechanischen Bauteilen, Verbundwerkstoffen, keramischen Werkstoffen oder gedruckter Elektronik. Des Weiteren eignet sich die Methode um verborgene Strukturen zu messen.

Potenzielle Anwendungsgebiete

  • Optik
  • Messtechnik
  • Photonik
  • Lasertechnik
  • Sensorik
  • Halbleitertechnik

Aktueller Stand

Die Technologie ist zum Patent angemeldet. Gern unterrichten wir Sie über den aktuellen Stand. Im Namen der Ruhr-Universität Bochum bieten wir interessierten Unternehmen die Möglichkeit zur Lizenzierung und zur Weiterentwicklung der Technologie.

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