Technologien

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Plasmasensor - Planarer Sensor mit gestapeltem Aufbau zur Messung von Plasmaparametern

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Ref.-Nr. 5317

Plasmen kommen in vielen technischen Bereichen zum Einsatz. Sie können Oberflächen modifizieren, reinigen oder beschichten. Wesentlich für die Qualität eines solchen Verfahrens ist die Kenntnis des Plasmazustandes. Hierbei sollen die Plasmaparameter nicht nur gemessen, sondern auch für die Regelung genutzt werden. Vorhandene Methoden erfüllen viele industrielle Anforderungen nicht und sind zudem komplex und kostenintensiv.

Keywords: Plasmasensor, Frequenz, Dichte, Plasma, Messung, Sensor, Regelung, Plasma sensor, frequency, density, measurement, control

Der neuartige Plasmasensor basiert auf der sogenannten aktiven Plasma-Resonanzspektroskopie, wobei der Sensor selbst in der Wand des Reaktors montiert wird und somit den Prozess nicht beeinflusst. Durch ein integriertes Symmetrierglied kann der Sensor über ein einfaches Koaxialkabel gespeist werden.

 

Eine deutsche Patentanmeldung wurde eingereicht, weitere Anmeldungen sind möglich. Im Namen der Ruhr-Universität Bochum bieten wir interessierten Unternehmen die Möglichkeit zur Lizensierung und zur Weiterentwicklung der Technologie an.

 

 

 


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