Die selektive und empfindliche Detektion von Gasen mit Hilfe von Mikrosystemen ist seit lagem eine große Herausforderung. Dabei kommen häufig resistive Messverfahren zum Einsatz, deren Signalwerte aber oft eine alterungsbedingte Drift aufweisen und eine schlechte Selektivität aufweisen. Anders ein neuartiger, monolithisch in Mikrosystemtechnik herstellbarer photoakustischer Gassensor (PAS) aus der Technischen Universität Dortmund: Er detektiert Zielgase sehr genau und selektiv. Das photoakustische Messprinzip funktioniert dabei wie folgt: Bestrahlt man eine zu untersuchende Gasprobe in einer Messzelle mit einer gepulsten Lichtquelle, so absorbieren die Gasmoleküle das Licht und die Gasprobe erwärmt sich. Bei konstanter Volumengröße der Messzelle entstehen auf diese Weise Druckwellen, deren Frequenz mit der Modulationsfrequenz der Lichtquelle übereinstimmt. Diese Druckwellen – sprich das photoakustische Signal – können mit schallempfindlichen Elementen wie Mikrofonen detektiert werden. Die Signalamplitude korreliert mit der Stärke der Absorption und gibt somit Aufschluss über die Gaskonzentration in der Messzelle. Aufgrund des Aufbaus ist kein weiterer Photodetektor notwendig. Das universelle Herstellungsprinzip eines photoakustischen Gassensors auf Basis eines SOI-Wafers ermöglicht es, alle benötigten Komponenten des Sensors monolithisch zu integrieren. Mit derartigen Sensoren können alle Gase nachgewiesen werden, die eine deutliche Absorption im IR aufweisen, etwa Kohlenstoffdioxid und Methan.