Physik, Mess- & Regelungstechnik

Plasmasensor - Planarer Sensor mit gestapeltem Aufbau zur Messung von Plasmaparametern

Ref.-Nr. 5317

Keywords: Plasmasensor, Frequenz, Dichte, Plasma, Messung, Sensor, Regelung, Plasma sensor, frequency, density, measurement, control

Wesentlich für die Qualität eines solchen Verfahrens ist die Kenntnis des Plasmazustandes. Hierbei sollen die Plasmaparameter nicht nur gemessen, sondern auch für die Regelung genutzt werden. Vorhandene Methoden erfüllen viele industrielle Anforderungen nicht und sind zudem komplex und kostenintensiv. Der neuartige Plasmasensor basiert auf der sogenannten aktiven Plasma-Resonanzspektroskopie, wobei der Sensor selbst in der Wand des Reaktors montiert wird und somit den Prozess nicht beeinflusst. Durch ein integriertes Symmetrierglied kann der Sensor über ein einfaches Koaxialkabel gespeist werden.

Vorteile

  • Einfacher Aufbau
  • Einfacher Einbau in bestehende Systeme
  • Robust
  • Kostengünstig
  • Kaum Rückwirkung auf das Plasma
  • Unempfindlich gegen dielektrische Beschichtung während der Prozessüberwachung
  • Integrierbar in die Plasmaregelung
  • Hochtemperaturstabile Realisierung möglich

Kommerzielle Anwendung

Der Plasmasensor kann in den meisten industriellen Plasmaprozessen eingesetzt werden, solange keine leitfähigen Schichten abgeschieden werden. Der Sensor kann die Plasmaparameter, insbesondere die Plasmaelektronenfrequenz, messen und die Werte für eine aktive Regelung zur Verfügung stellen und damit die Qualität des Prozesses deutlich verbessern. Da der Sensor in die Reaktorwand integriert wird, ist kein großer technischer Aufwand zur Installation notwendig. Eine deutsche Patentanmeldung wurde eingereicht, weitere Anmeldungen sind möglich. Im Namen der Ruhr-Universität Bochum bieten wir interessierten Unternehmen die Möglichkeit zur Lizensierung und zur Weiterentwicklung der Technologie an.

Eine Erfindung der Ruhr-Universität Bochum.

Prof. Dr. Frank Entschladen

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